- физическое осаждение из паровой фазы
-
физическое осаждение из паровой фазы
Осаждение тонких пленок, осуществляемое с помощью физического переноса материала (например, с помощью термического испарения или распыления) от источника к подложке; химический состав осажденного материала во время данного процесса не изменяется.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- полупроводниковые приборы
EN
- PVD
- physical vapor deposition
Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.
физическое осаждение из паровой фазы — fizikinis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. physical vapor deposition vok. physikalische Gasphasenabscheidung, f rus. физическое осаждение из паровой фазы, n pranc. déposition physique en phase vapeur, f;… … Radioelektronikos terminų žodynas
Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом — 2. Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом, процесс нанесения внешнего покрытия в вакууме при давлении ниже 0,1 Па с использованием какого либо источника тепловой энергии для испарения материала покрытия. Процесс приводит к… … Официальная терминология
физическое осаждение из газовой фазы — Термин физическое осаждение из газовой фазы Термин на английском physical vapour deposition Синонимы PVD процесс Аббревиатуры PVD Связанные термины химическое осаждение из паров металлорганических соединений Определение технология нанесения… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
déposition physique en phase vapeur — fizikinis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. physical vapor deposition vok. physikalische Gasphasenabscheidung, f rus. физическое осаждение из паровой фазы, n pranc. déposition physique en phase vapeur, f;… … Radioelektronikos terminų žodynas
dépôt physique en phase vapeur — fizikinis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. physical vapor deposition vok. physikalische Gasphasenabscheidung, f rus. физическое осаждение из паровой фазы, n pranc. déposition physique en phase vapeur, f;… … Radioelektronikos terminų žodynas
fizikinis garinis nusodinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. physical vapor deposition vok. physikalische Gasphasenabscheidung, f rus. физическое осаждение из паровой фазы, n pranc. déposition physique en phase vapeur, f; dépôt physique en phase vapeur … Radioelektronikos terminų žodynas
physical vapor deposition — fizikinis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. physical vapor deposition vok. physikalische Gasphasenabscheidung, f rus. физическое осаждение из паровой фазы, n pranc. déposition physique en phase vapeur, f;… … Radioelektronikos terminų žodynas
physikalische Gasphasenabscheidung — fizikinis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. physical vapor deposition vok. physikalische Gasphasenabscheidung, f rus. физическое осаждение из паровой фазы, n pranc. déposition physique en phase vapeur, f;… … Radioelektronikos terminų žodynas